2001年MEMS在各產品應用比例
摘要
MEMS (Micro-electromechanical Systems，微機電系統)，其定義為整合的微元件或系統，包含利用IC相容批次加工技術製造的電子和機械零件，該元件或系統的大小從微米到毫米。有別於只重視電子系統的系統單晶片SOC，微機電實則包含機械與電子系統雙重部分，比較傾向於自然界真正的所謂”系統”。其中機械部分主要為系統機械結構（例如housing、支架、溝渠、槽）、受力/出力裝置（例如引擎、活塞、齒輪、馬達）等較具備物理實體外觀的部分；電子部分則是大家較熟悉的訊號輸出入（I/O）、儲存（Storage/Memory）、處理（Processing）、訊號傳送（Transmission）等線路，或是成為積體電路（IC）。簡單的說，微機電包含兩大部分，機械部分負責結構、動力與傳動，電子部分則專工訊號與處理。
事實上有關微機電技術的發展，並非這幾年才開始的事。各個先進工業國家早在20多年以前就已經先後著手研發工作。近來由於半導體技術的成熟與普及，以及為微機電所發展的諸多製程發展趨於成熟穩定，促使微機電在這幾年獲得相當的重視。以創業天堂的美國來說，根據In-Stat的統計，2001年上半年微機電吸引487.5百萬美元的創投資金投入，相對於2000年全年的259百萬美元可以說是呈倍數的增長，創投資金對這個領域技術的挹注，除了代表對於這個技術商業化的肯定之外，更對於這個技術應用的普及添增一股動力，讓我們不得不注意這個技術帶給我們的影響，以及可能對現存產業結構的變化。MEMS技術含括的應用領域有汽車、醫療儀器、航太、通訊、半導體、一般機械工業及資料儲存等方面。若以產品應用別來看，最多為Inkjet，其所佔比例為31.9%，而且每年約有16%的成長率。其次為Read Write Head，比重約為19.9%。
