3D IC之晶圓薄化分析
摘要
目前情勢為CIS發展最快,但量能最大的記憶體與邏輯尚未跟上,其中因為暫時性鍵合與解鍵,其成本約佔整體TSV製程的1/5強。目前因暫時性鍵合與解鍵尚無標準,所以多由廠商各自發展,技術成熟度是由有承載晶圓與暫時性鍵合/解鍵之廠商占上風,但多屬原料商類別,台廠涉足少。
2012~2015年薄化晶圓產能預估 |
Source:拓墣產業研究所,2013/02 |
目前情勢為CIS發展最快,但量能最大的記憶體與邏輯尚未跟上,其中因為暫時性鍵合與解鍵,其成本約佔整體TSV製程的1/5強。目前因暫時性鍵合與解鍵尚無標準,所以多由廠商各自發展,技術成熟度是由有承載晶圓與暫時性鍵合/解鍵之廠商占上風,但多屬原料商類別,台廠涉足少。
2012~2015年薄化晶圓產能預估 |
Source:拓墣產業研究所,2013/02 |
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